SJT 31084-1994 电子束蒸发台完好要求和检查评定方法
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ID： |
F54B5438E28041C881410000D1DA5D85 |
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文件大小(MB)： |
0.28 |
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页数： |
3 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,s.j/r 31084 94,电子束蒸发台完好要求和检查评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了电子束蒸发台的完好要求和检查、评定方法,本标准适用于4OOSC3O36型和EBX-12C电子束蒸发台,也适用于CL680型、HCV一,12p—7OA型蒸发台,2名词与术语,2.1 蒸发:将金属丝加热或用电子束轰击使金属材料挥发从而可使材料淀积在衬底上的エ艺,过程,2.2 电子束蒸发:采用高能电子束直接轰击置于培期内的源材料,使之加热蒸发并沉积于基,片上,以形成薄膜的真空镀膜过程,3完好要求,3.1 主要技术指标,4OOSC3O36型和EBX-12C型、CL680型电子束蒸发台主要技术指标完好要求,见表1,表1,序号检测项目,完 好 要 求,400SC3036 型、HCV—12P— 7OA 型EBX 12c 型、CL680 型,1 极限真空度(pa) 9.3X10 一 § 6. 7X10-,2 抽真空速率(min) 抽至 2. 66X10Tpa 时,<30 抽至 6. 7X10 4pa 时,<20,3,成膜速率,(蒸发速率)?m/min),功率::10kW,材料:锐,速率:。.012,材料:課,速率:0.01,功率:8kW,材料:铝速率:1.6,4 镀膜均匀性误差(％) <士5 W±5,5,衬底恒温区温度误差,(蒸发室温度)CC),50~300 可调250+5%,3.2 操作系统,3.2.1 各操作变速手柄、开关、按扭启动灵活,定位可靠,标志齐全,3.2.2 制动、限位装置齐全,灵敏可靠,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,1,SJ/T 31084-94,3.2.3 各仪表、指示灯指示正常,3.3 传动系统,工作夹、炉体旋转平稳,无冲击,无振动,3.4 真空系统,3.4.1 真空腔密封性好,无漏气,3.4.2 冷却水路、气路通畅,3.4.3 冷凝泵、高真空泵工作正常,无异常噪声、,3.4.4 真空泵、冷凝泵具体完好囈求,按动カ设备中有关规定执行,3.5 电路控制系统,3.5.1 控制装置各部分功能齐全,性能可靠,3.5.2 内部清洁,各线路标志明显,3.6 微机控制系统,3.6.1 微机控制下编辑、执行、监测等模式可以随意设定,3.6.2 各模式功能齐全,能够编辑程序,执行进程,监测和测试等,3. 6.3在自动控制下各部件动作协调,精度可靠,3.6.4具体要求,参照有关设备“微机系统”执行,3.y附件,附件齐全,保管良好,无锈蚀、损伤,3.8 安全防护系统,3.8.1 各引线的接地接头接地可靠,标志明显,3.8.2 各安全阀门、联锁装置工作正常,开关准确,3.9 维护保养,3.9.1 设备内外清洁无锈蚀。观察窗明亮、清晰,无破损、无腐蚀,3.9.2 各部件紧固螺钉紧密,无松动、高压电源线和高压引线的连接处无松动,3.9.3 电子枪的绝缘子,加热灯丝等无沾污.裂纹或变形,3.9.4 电子枪偏转线圈用的接线,真空室内的电子枪屏蔽罩要远离加热灯丝一定柜离,3.9.5 冷却水管道通水方向正确,无漏水,3.9.6 保持泵油的油面在规定的刻线上,4检查、评定方法,4.1 检査方法,4.1.1 极限真空度的检査方法:,按设备操作要求对真空室抽真空,40.60min后,每隔lOmin记录真空计示值,记录5.,10次,取最后一次为极限真空度,4.1.2 抽真空速率的检査方法:,按设备操作要求对真空室抽真空,5.lOmin后,打开真空度测试仪,记下从打开高阀开始,到第一次达到6.7X10-4Pa的时间,2,sj/T 31084-94,4.13蒸发速率的检査方法:,选择铝或其它材料为蒸发材料,选定ー轰击电压,进行轰击,记录下时间t,用测厚仪测量,衬底增加的厚度D,用（1）式计算蒸发速率Rm/min）：,V = D/t ..（1）,4.1.4 镀膜均匀性的检査方法:,选择铝或其它材料为蒸发材料,在衬底上选取有代表性的五点放置样片,按操作规程进行,蒸发镀膜5用测厚仪分别测量五片样片的厚度。并计算膜厚均匀性误差,4.1,5 衬底恒温区温度均匀性的检查方法,在衬底上选择五点布放温度传感器,设定250 c或其它温度为测试点,按设备操作要求升,温,达到设定温度并稳定5min后,每隔2.3min记录一次温度示值,共记录3.5次,分析修,正后的测试结果.计算温度均匀性误差,4.1.6 对各系统完好耍求,在设备现场,采用主观法检査,4.2评定方法,4. 2.1完好要求所列内容中,主要项目有:3.1、3. 4,3. 5各项,其余为次要项目,4.2.2 主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求，亦为不完好,设备,4.2.3 完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由国营南京有线电厂组织起草,本标准主要起草人「牛爱欣（电子工业部第13所）、王洪波（国营南光机器厂）、何生海、董,振雷、宋振荣（中国华晶电子集团公司）,--3……
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